石英玻璃的深加工是指將石英玻璃原料(管狀、棒狀、片狀、塊狀)加工成用戶需要的石英器件,在加方法上分為冷加工和熱加工兩種形式。下面石英玻璃的冷加工詳細介紹。
冷加工主要包括切割、研磨、拋光三種:
1、切割:主要是采用金剛砂鋸片、金剛石鋸片切割石英管或石英棒。多刀切割機、線切割機,主要用于石英碇、石英塊料切割。激光切割機、內圓切割機,主要用于切割導行板材。
2、研磨:平面磨盤、單軸、雙軸拋光機,分粗磨:Hcp在10~20μm光潔度▽2.平面銑床、多功能銑床,細磨:Hcp在6.3μm光潔度▽6.鉆床、車床、內園、外園磨床,粗磨:Hcp在6μm以下▽7.
3、拋光:多軸拋光機:Hcp<λ,即0.5μm以下。