X熒光光譜儀優點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定特殊性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數。
而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

臺式x熒光光譜儀是研究物與蛋白質相互作用的常用儀器。物與蛋白質相互作用后可能引起物自身熒光光譜和蛋白質自身熒光(內源熒光)光譜以及同步熒光光譜的變化，如熒光強度和偏振度的改變出現等，這些均可以提供物與蛋白質結合的信息。 臺式x熒光光譜儀對于一種未知發光性能的熒光粉來說，測試發射譜時，通常利用氙燈的強254nm發射來激發樣品。這時激發單色器就從氙燈發射出來的復合光中分出254nm的紫外光。該紫外光照射到熒光粉上，有可能激發熒光粉使其發射某種顏色的光。熒光粉發射的混合波長的光被發射單色器以單色光的形式一一鑒別釋放，同時利用PMT記錄相應的強度。
臺式x熒光光譜儀技術已成功應用于環境、食物鏈、動植物、農產品、人體組織細胞及、生物材料、組織細胞、試劑、動植物、代謝產物中的無機元素測定。目前XRF分析們已普遍走出了單純進行分析側試研究的范疇，廣泛開展了分析數據與所包含信息的相關性研究，試圖揭示出分析結果與及環境變化等的內在聯系，為診斷與預防、環境預測與治理等提供科學依據。
臺式x熒光光譜儀是一種波長較短的電磁，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。臺式x熒光光譜儀與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產生的特征，通過側里和分析樣品產生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質成分的定性和定量信息。
特征臺式x熒光光譜儀的產生與特性當用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加速度會產生寬帶的連續X射線譜，簡稱為連續潛或韌致。另一方面，化學元素受到高能光子或粒子的照射，如內層電子被激發，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。特征X射線是一種分離的不連續譜。如果激發光源為x射線，則受激產生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀產生的過程。