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權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環形氣體分布器(11)；其特征在于經輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)

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因此,避免提拉系統的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產實際中發現,某型號單晶爐的提拉系統在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統的軟軸會出現明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統進行分析,找出引起提拉系統軟軸晃動分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，二部分爐體(上部)1.速度編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)2.光電編碼器的原理型號作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構造以及傳動原理( 好壞如何檢測)3.減速器的原理型號構造以及傳動原理(好壞如何檢測)4.各電機作用構造(好壞如何檢測)5.提升機構的原理以及傳動方式6.液壓機構的原理以及傳動方式,包括液壓泵的原理輸入輸出(好壞如何檢測)7.各限位的作用以及關系,限位原理,輸入輸出(好壞如何檢測8.磁流體的原理,用途(如何保養)9.