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浮力提拉單晶爐提拉機(jī)構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡(jiǎn)稱FTD)是利用浮力原理設(shè)計(jì)成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個(gè)廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問世以后,卻沒有進(jìn)行深入探討。雖然FTD的設(shè)計(jì)有過幾次變化,但由于沒有掌握設(shè)計(jì)的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴(yán)重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對(duì)多臺(tái)FTD作了分析對(duì)比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動(dòng)FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習(xí)C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。} 藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，使肩部近似直角；然后，進(jìn)入等徑工藝，通過控制熱場(chǎng)溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時(shí)，再將晶體逐漸縮小而形成一個(gè)尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個(gè)單晶拉制過程基本完成，進(jìn)行一定的保溫冷卻后可以取出。

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工業(yè)爐：分為電爐和燃燒爐（狹義的工業(yè)爐指燃燒爐）2． 主要產(chǎn)品七大類：電阻爐、感應(yīng)爐、真空爐、電子束爐、熱處理（或熔煉）機(jī)組、熱處理輔助設(shè)備、燃燒爐三． 電阻爐：三大部件：加熱器、爐襯、耐構(gòu)件 　　1． 分為周期式及連續(xù)式兩大類 2． 周期式爐的特征：A． 爐料同時(shí)加入同時(shí)取出 B． 加熱時(shí)爐料基本不動(dòng)（特殊情況除外：如滾筒爐，輥底爐） C． 工作區(qū)內(nèi)力求溫度均勻。