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無(wú)錫錫山單晶爐回收 離子泵回收現(xiàn)場(chǎng)報(bào)價(jià)分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實(shí)現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時(shí)的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無(wú)泄露，長(zhǎng)期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動(dòng)直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的靜平衡和動(dòng)平衡測(cè)試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動(dòng)小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動(dòng)直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計(jì)，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長(zhǎng)期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動(dòng)式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。