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在該爐工作前，由設于排氣口 13上的真空泵將爐內空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時，爐內的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質生成，因此在不斷充入的同時，所述真空泵同時將一氧化硅、粉 塵雜質與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動過程為從石英坩堝上 方經坩堝支持器14與發熱體16之間的間隙，以及發熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導向裝置20,然后經圖6中的氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實施例的氣流導向裝置20可有效減小爐內空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，

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周期式電阻爐的分類A． 箱式爐 B． 臺車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐 D． 罩式爐（主要用于退火，加熱罩可吊移）　E． 底升式罩式爐（罩子固定，升降底座，適用于大型爐子）F． 轉筒式爐 G． 密封箱式爐（又稱為多用爐，可進行滲碳、光潔淬火、碳氮共滲等熱處理工藝。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發明的直拉式單晶生長爐中，經 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長，平均每個直拉式單晶生長爐每 天可少消耗1440L，有效降低了生產成本，且利于在硅單晶生長過程 中單晶分子排列結構的整齊性，還利于提高電阻率的均布性。(2)本發明 的直拉式單晶生長爐中，碗形的氣流導向裝置設于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間，且氣流導向裝置的中軸孔及一對電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對電極孔配合設置，有效地減小了爐內空間，便于迅速及時地 將爐內的一氧化硅與的混合氣體排出，且利于減少熱能和的消耗量，使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外，由于該爐的排氣口與氣流 導向裝置的各通氣孔相連通，