特點
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

2. 耐高溫，在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下，實驗室內能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場地占用面積，。

用途
無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

保養方法
日保養

1． 打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風機運轉是否正常，有無異常聲音，如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

月保養

1． 檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風機運轉是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。

5． 檢查發熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調節至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門面關閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關有作用，機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風口，請接至排氣系統冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環境。
在開始工作前的話要確認電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內，開啟電源開關并調整溫控儀表、適當的溫度與加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護器具:并不得離開加工區

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節進氣口大小可調節烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實際情況合理調節進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

一般精密烘箱的內部循環方式有水平送風和垂直送風，為了達到內部無塵的環境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內的空氣通過回風口后，一部分經過排氣口排除箱外，另外的經過循環通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。

無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當烤箱內部氣流流動時，熱量會被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會逐漸提高，從而完成烤制過程。在烤箱內，熱量會被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個材料得到均勻的加熱同時，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發現象，從而大大減少煙塵的排放。