隨著半導體技術的發展,產品性能的不斷提高和改善,對半導體的表面質量要求越來越嚴格,迫使行業內的清洗裝置也在逐步的改善。
產品特點:耐高溫,使用溫度在-200~+260℃;耐受強酸強堿等強腐蝕樣品,比如:王水、魔酸、氫fu酸、鹽酸、硝酸、liu酸等以及各種有機溶劑;低的溶出和析出,金屬元素空白值低,鉛鈾含量小于0.01ppb;
應用行業:半導體、多晶硅、太陽能、鋰電池、新材料、新能源等;現有規格:PFA4寸花籃+PFA4寸提手,PFA6寸花籃+PFA6寸提手;
PFA的特點它能耐受清洗溶液的腐蝕性,同時金屬元素空白值低,無溶出無析出,不會污染芯片晶圓等。
半導體晶圓清洗槽尺寸可按要求定做。同時可定制配套蓋子,防止污染。
二、特點:
1、外觀半透明,易觀察槽內試劑情況;
2、耐高低溫:-200~+260℃
3、耐腐蝕:耐強酸、強堿、王水、氫fu酸和各種有機溶劑;
4、耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關;
5、防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb;
6、低的溶出和析出,不會污染芯片、晶圓、硅片等;
8、化學性能穩定,可恢復性好,不易變形;
9.特氟龍塑料,經久耐用,不易碎
尖頭:用于夾取比較小的樣品,如太陽能硅片、鋰片等。
扁頭:用于夾取片狀、薄狀樣品,可以避免因夾取時接觸面積較小,而使所夾取樣品滑落;頭部可以做成帶齒狀的,夾取特殊樣品時,更加方便、實用。