設計
使用高介電常數的材料制造電極，提高加工精度。
改善冷卻條件，采用水冷或雙極冷卻。
降低氣源露點，提高氣源潔凈度。
提高臭氧電源的驅動頻率，降低電耗。
采用智能控制，并對運行工況再線監測。
氣源
臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠開放式。
臭氧發生器是一種內熱式氣相反應器。因為空氣等類似氣體都是不好的導熱體，電暈放電產生的熱量會使氣體溫度升高。較高的溫度會加速臭氧的逆反應，即臭氧被還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此，冷下也是提高發生器效率的一項措施。由于水和油的吸熱系數遠大于空氣，工業發生器一般采用水冷或油冷發生器。由于空氣冷方便易行，這種形式常用于微型臭氧發生器?！ τ诓捎盟浞绞降陌l生器，應考慮冷卻水的水質，防止冷卻水結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果，從而減少臭氧的輸出，增加維護成本。因此，如果冷卻水質量不好，需要增加板式冷卻器。
