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單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。1、主機部分：機架，雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統\真空系統及自動爐壓檢測控制\水冷系統及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源：全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器，構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關（ZVS）及CPU控制技術，提高了電能轉換效率，不需要功率因數補償裝置。3、計算機控制系統：采用PLC和上位工業平板電腦PC機，配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑 ADC系統和具有知識產權的“全自動Cz法晶體生長SCADA監控系統”，可實現從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。

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大直徑硅單晶的制備與數值分析\大直徑硅單晶是微電子工業的基礎材料,廣泛應用于集成電路備件和硅片制造領域,是現今信息社會的基石。根據半導體設備材料產業協會(SEMI)的報告,大直徑硅單晶的需求依然旺盛,450mm硅單晶要繼續開發研究。當前主流集成電路設備用部件急需400mm硅單晶并提出低成本的要求,開發400mm硅單晶和研究晶體制備的工藝過程,無疑具有重要的理論意義和現實需求。同時,開發下一代450mm集成電路用硅晶體、研究外加磁場對改善晶體質量的作用,對于我國未來制造450mm硅片具有重要的戰略意義。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐設備知識、部分電控柜1.兩個濾波器的作用型號,原理以及正常工作的電壓,輸入輸出(好壞如何檢測)2.兩個伺服驅動器的作用原理型號以及相關判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測)3.兩個一般驅動器的作用原理型號以及判斷方式,輸入輸出(好壞如何檢測)4.繼電器的型號作用以及類別,輸入輸出(好壞如何檢測)5.反饋放大板的作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)6.