掃描電鏡可以采集多種不同類型的信號用于成像和分析，其中二次電子(SE)和背散射電子(BSE)信號是基本也是常見的兩種信號類型。
不同廠家和型號的電鏡在采集SE，BSE信號時所用的探測器都具有各自特的技術，但旁置式二次電子探測器和極靴下背散射電子探測器在架構和工作原理方面相對固定，應用也很廣泛，因此本文只會對旁置式二次電子探測器和極靴下背散射電子探測器進行介紹。

蔡司解決方案在增材制造領域的應用范圍覆蓋粉末和材料分析，所使用的設備包括光學顯微鏡、掃描電鏡、X射線技術。
使用光學顯微鏡來測試金屬粉末的粒徑分布
使用SEM掃描電鏡對3D打印金屬粉末的球形度和實心性進行分析
使用CT對粉末顆粒的寬高比和粒徑進行分析
對于內(nèi)部缺陷，蔡司的解決方案也能輕松檢測，比如微裂紋、分層、疲勞裂紋、盈利、孔隙率、粉末殘留物和氣孔等。

真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。
真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場致發(fā)射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。