X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理。X熒光光譜儀由激發源和探測系統構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息，X熒光光譜儀隨著分光、探測系統及X光管等的不斷改善和電子計算機的應用，而得到迅速的推廣和發展。可以預料，對新技術、新方法的探索，還會不斷促進XRF熒光光譜儀器的更新發展。

元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定特殊性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數。
而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

x熒光光譜儀1．分析原理：能量色散X射線熒光分析法
2．分析元素：K～U任意元素,鉛（Pb）、（Hg）、六價鉻（Cr6+）、
（PBB）和醚（PBDE）中的溴
3．工作條件：工作溫度：10-30℃相對濕度：≤70%
電源：AC220V±10%、50/60Hz
4．技術指標新高靈敏度探測器（分辨率達149Ev），精密的放大電路，
提高Cd、Pb元素的靈度。
檢出下限(Cd/Pd)：Cd/Cr/Hg/Br≦2ppm,Pb≦5ppm
樣品形狀：任意大小，任意不規則形狀
樣品類型：塑膠/金屬/薄膜/粉末/液體
小樣品腔尺寸：300×300×100mm
大樣品腔尺寸：樣品尺寸不受限制
X射線管：材/Mo管電壓/5～50kV管電流/大1～1000μA
照射直徑：2、5、8mm
探測器：Si(PIN)半導體高靈敏度探測器
濾光片：八種新型濾光片自動選擇
樣品定位：微動載物平臺（選配）
樣品觀察：130萬分辨率彩色CCD攝像機
微區分析：X光聚焦微區分析系統（選配）軟件
定量分析：理論Alpha