,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然后,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3~5mm的細頸,用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程就是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,使肩部近似直角;然后,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程就基本完成,進行一定的保溫冷卻后就可以取出。
的多晶硅定向凝固技術;的爐膛材質和高氣密封性爐腔,為多晶硅生長提供優良條件;隔熱籠同步提升技術,垂直方向溫度梯度和固液界面水平;方便形成垂直溫度梯度的熱場設計,實現晶體快速生長;特生長期維持副泵設計,大大降低真空系統能耗,延 長主泵壽命,減少使用維護成本; 采用固化碳氈錯位設計,減少熱損耗,節能;隔熱籠運動機構采用進口驅動器+伺服電機+進口滾珠絲桿副,控制精度高,運行平穩可靠下爐蓋運動機構采用直流電機控制、穩定性好,并配有丟步檢測保護裝置;工藝過程計算機全自動智能化控制,圖形化顯示,斷偶等“經驗”處理程序,提高鑄錠成功率;可靠的安全性能:國際行業標準的安全性防護設計,采用四重防硅液泄漏安全防護技術,確保防止意外的發生; UPS電源,軟件、硬件多重安全保護,故障報警和安全聯鎖,設備可靠性高;整機模塊化、標準化設計,安裝快捷,設備拓展方便,可維修性好;快捷方便的本土技術服務,充足的零備件供應。
在傳統鑄錠過程中,石英坩堝底部易形成大量晶核,難以長出大晶粒,使硅錠內部存在大量晶界,易造成雜質偏聚或沉淀,成為光生載流子強復合中心,降低電池的光電轉換效率。類單晶鑄錠技術兼具單晶高轉換效率和多晶低成本的優點,成為目前業界具競爭力的新型鑄錠技術之一。