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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日 -
面議IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日
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近年來，國內晶圓升降機構的發展也很迅速。一些較早投入應用的晶圓傳輸機構。前端支持品圓機械手爪隨滑塊在導軌內上下運動，由直流電機驅動，該機構升降行程較小、精度低，速度慢，缺少晶圓保..09月13日
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統，主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加，更易變形破損，Z 軸方向上的定位(重..09月13日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日
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晶圓升降機構需要完成升降運動，采用直線電機驅動。直線電機是一種將電能直接轉換成直線運動，而不需要通過任何中間轉換機構的新穎電機。其代表是音圈電機，音圈的繞制方向與磁場方向垂直，具..09月13日
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統，主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加，更易變形破損，Z 軸方向上的定位(重..09月13日
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晶圓中200mm 階段，采用晶圓輸送機代替人手操作，排除人為帶入的環境污染。隨著IC 制造工藝的發展和對環境潔凈度要求的提高，國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統各部..09月13日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日
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近年來，國內晶圓升降機構的發展也很迅速。一些較早投入應用的晶圓傳輸機構。前端支持品圓機械手爪隨滑塊在導軌內上下運動，由直流電機驅動，該機構升降行程較小、精度低，速度慢，缺少晶圓保..09月13日
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集成電路行業發展迅速，對芯片產品的良率要求日益增高，晶圓測試能夠在芯片未進行切割、引線、封裝等多重后道工序加工前進行測試，減少不良品在后續加工中的嚴重浪費，所以急需晶圓測試設備達..09月13日
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晶圓中200mm 階段，采用晶圓輸送機代替人手操作，排除人為帶入的環境污染。隨著IC 制造工藝的發展和對環境潔凈度要求的提高，國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統各部..09月13日
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IC 制造過程各種工藝前都需要進行晶圓的傳輸、定位和姿態調整。晶圓升降機構就是品圓自動傳輸系統重要組成部分之一。其速度、重復定位精度將直接或間接影響 IC 的生產效率和制造質量。研究高..09月13日
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面議晶圓升降機構隸屬于晶圓自動傳輸系統，主要承擔著與晶圓裝卸機械手配合完成晶圓在加工工件臺與預對準設備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加，更易變形破損，Z 軸方向上的定位(重..09月13日
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面議晶圓上表面有定位用的標識，晶圓在預對準階段確定好了與傳輸機械手的相對位置，經過升降機構到達工件臺吸盤上，為了檢測標識位需要其與吸盤相對位置是固定的。因此要求升降機構在圓周方向上不..09月13日
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近年來，國內晶圓升降機構的發展也很迅速。一些較早投入應用的晶圓傳輸機構。前端支持品圓機械手爪隨滑塊在導軌內上下運動，由直流電機驅動，該機構升降行程較小、精度低，速度慢，缺少晶圓保..09月13日
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面議近年來，國內晶圓升降機構的發展也很迅速。一些較早投入應用的晶圓傳輸機構。前端支持品圓機械手爪隨滑塊在導軌內上下運動，由直流電機驅動，該機構升降行程較小、精度低，速度慢，缺少晶圓保..09月13日
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晶圓中200mm 階段，采用晶圓輸送機代替人手操作，排除人為帶入的環境污染。隨著IC 制造工藝的發展和對環境潔凈度要求的提高，國外機器人研究機構在上世紀 80 年代開展了晶圓自動傳輸系統各部..09月13日
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目前，半導體制程設備中，常常需要用電機通過傳動帶帶動滾珠絲桿，來控制晶圓的升降。而傳動帶通過摩擦來傳遞動力，因此傳動帶要調整張緊力以獲得合適的摩擦力。通過調整傳動帶的張緊度可以調..09月13日
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