產(chǎn)品別名 |
探針,晶圓探針座,低溫探針臺,簡易探針臺 |
面向地區(qū) |
通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：
1、需要測幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺機(jī)械精度要求多高？
3、點(diǎn)測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的mini pad，還是ic內(nèi)部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡倍率200倍）
5、多需要幾根探針同時去點(diǎn)測？
6、會測試到的的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：小能測到的電流的量級）
8、是否會用到探針卡？
9、光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少？
10、顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測？
11、接駁的測試儀器接口有哪些？
12、測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？
13、對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
14、是否需要防震桌？
15、若添置防震桌，是否有壓縮空氣？
