一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認(rèn)電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內(nèi)
(3)開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調(diào)整溫控儀表適當(dāng)溫度與加熱恒溫時(shí)間。( 4)開(kāi)啟鼓風(fēng)開(kāi)關(guān)，開(kāi)啟加熱開(kāi)關(guān)，開(kāi)始工作
2.無(wú)塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護(hù)器具
(2)操作人員嚴(yán)禁離開(kāi)加工區(qū)

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)外應(yīng)經(jīng)常保持清潔，長(zhǎng)期不用應(yīng)罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內(nèi)，高溫狀態(tài)下禁止打開(kāi)箱門，加熱過(guò)程中務(wù)必風(fēng)機(jī)是正常運(yùn)轉(zhuǎn)，嚴(yán)禁安裝在潮濕的環(huán)境下運(yùn)行，操作人員熟悉無(wú)塵潔凈烤箱的結(jié)構(gòu)、性能、工作原理及調(diào)整方法，操作方法及保養(yǎng)知識(shí)。

檢查無(wú)塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺(tái)車烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開(kāi)機(jī)操作前檢查臺(tái)車烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過(guò)3cm，合上電源總開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮。 按下無(wú)塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機(jī)從電機(jī)端看進(jìn)去應(yīng)為逆時(shí)針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。