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無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱),可長期在250°C溫度下工作,提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制,可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器,每次運風循環均充分過濾(CLASS100 ),有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器,電熱烘箱內部循環熱風經高溫空氣過濾器反復過濾,了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風系統,了各潔凈區之間的隔離,防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護),防止被烘烤產品的氧化
工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產品放置烘箱內
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關,開啟加熱開關,開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態下進行,否則易導致內外壓強及溫度差,造成外部大氣沖入箱內等突發狀況;2、升溫過程中,加熱指示燈長亮,達到設置溫度后,加熱自動停止,同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時,加熱再次啟動,加熱指示燈亮;3、加熱指示燈及溫度需正常顯示,若指示燈不亮需及時關閉電源并聯系儀器負責人。
檢查無塵潔凈烤箱是否符合生產要求,檢查臺車烘箱各緊固件是否松動,開機操作前檢查臺車烘箱是否有漏電現象,若漏電嚴禁操作使用,并及時查出原因。 加入待烘干物料,物料的厚度不得超過3cm,合上電源總開關,電源指示燈亮。 按下無塵潔凈烤箱啟動按鈕,風機運轉,溫控器通電。初次使用應檢查風機轉向,右側風機從電機端看進去應為逆時針轉,轉向不符應改變電源相序。
按動“加熱”開關(加熱器通電),無塵潔凈烤箱進入正常工作,根據工藝要求設定溫度,當臺車烘箱溫度上升接近設定值時,加熱器電源時通時斷,臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關,做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口,調節進氣口大小可調節烘箱的進氣量,其進氣量增加,箱頂排氣口排氣量也增加,可根據實際情況合理調節進排氣量,一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門,以利無塵潔凈烤箱的溫度上升,當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門,以利于水分排出。
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