無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設(shè)定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀察臺(tái)車烘箱的濕度，請(qǐng)按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機(jī)檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過(guò)擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無(wú)防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機(jī)、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無(wú)塵潔凈烤箱的日常維護(hù)保養(yǎng)工作，使用、維護(hù)應(yīng)有專職人員進(jìn)行，保養(yǎng)時(shí)先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級(jí)和百級(jí)過(guò)濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設(shè)備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預(yù)防材料在烤箱內(nèi)變質(zhì)。在過(guò)去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過(guò)使用無(wú)塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。