用途
無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環熱風經高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風系統，了各潔凈區之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產品放置烘箱內
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關，開啟加熱開關，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯系儀器負責人。

溫度設置1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發現異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。

一般精密烘箱的內部循環方式有水平送風和垂直送風，為了達到內部無塵的環境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內的空氣通過回風口后，一部分經過排氣口排除箱外，另外的經過循環通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。