用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

一般的電熱（鼓風(fēng)）無(wú)塵干燥箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù)：自然對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強(qiáng)制對(duì)流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運(yùn)動(dòng)使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒(méi)有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來(lái)。在真空狀態(tài)下設(shè)這個(gè)指標(biāo)也是沒(méi)有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個(gè)物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現(xiàn)象與冬天曬太陽(yáng)時(shí)，曬到太陽(yáng)的一面很暖和，曬不到太陽(yáng)的一面比較冷是一個(gè)道理。由于真空干燥箱在結(jié)構(gòu)上很難做到使工作室三維空間內(nèi)的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時(shí)也缺乏的評(píng)估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標(biāo)準(zhǔn)中不設(shè)溫度均勻度參數(shù)的原因。

無(wú)塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮?dú)饪?操作前應(yīng)將氮?dú)饨油ū緳C(jī)之氮?dú)饪冢貏e注意在接通前先將N2壓力調(diào)節(jié)至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內(nèi)后須將門面關(guān)閉，門扣確實(shí)扣緊后，門面安全開(kāi)關(guān)有作用，機(jī)臺(tái)才能順利啟動(dòng)。
3.無(wú)塵潔凈烘箱后方之冷卻排風(fēng)口，請(qǐng)接至排氣系統(tǒng)冷卻時(shí)有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開(kāi)始工作前的話要確認(rèn)電氣是否正常，將檢測(cè)物品正確放置箱內(nèi)，開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調(diào)整溫控儀表、適當(dāng)?shù)臏囟扰c加熱恒溫時(shí)間，并目操作人員要專心操作并配戴防護(hù)器具:并不得離開(kāi)加工區(qū)

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

按動(dòng)“加熱”開(kāi)關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開(kāi)始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣門，以利于水分排出。