用途
無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以內是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環節。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調節至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門面關閉，門扣確實扣緊后，門面安全開關有作用，機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風口，請接至排氣系統冷卻時有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環境。
在開始工作前的話要確認電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內，開啟電源開關并調整溫控儀表、適當的溫度與加熱恒溫時間，并目操作人員要專心操作并配戴防護器具:并不得離開加工區

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產品質量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環熱風經高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風系統，了各潔凈區之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產品的氧化

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設置溫度不合理會造成固態物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時關閉電源并聯系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發現異常需第D一時間關閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節進氣口大小可調節烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實際情況合理調節進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。

一般精密烘箱的內部循環方式有水平送風和垂直送風，為了達到內部無塵的環境，需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級和百級過濾器）。烘箱內的空氣通過回風口后，一部分經過排氣口排除箱外，另外的經過循環通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。