保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風機運轉是否正常，有無異常聲音，如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風機運轉是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉子流量計，氣體減壓調節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。

無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規(guī)程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區(qū)的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器，每次運風循環(huán)均充分過濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風經高溫空氣過濾器反復過濾，了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統(tǒng)及運風系統(tǒng)，了各潔凈區(qū)之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產品放置烘箱內
(3)開啟電源開關并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時間。( 4)開啟鼓風開關，開啟加熱開關，開始工作
2.無塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開加工區(qū)

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

無塵潔凈烤箱內外應經常保持清潔，長期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開箱門，加熱過程中務必風機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養(yǎng)知識。

按動“加熱”開關（加熱器通電），無塵潔凈烤箱進入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車烘箱溫度上升接近設定值時，加熱器電源時通時斷，臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關，做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口，調節(jié)進氣口大小可調節(jié)烘箱的進氣量，其進氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實際情況合理調節(jié)進排氣量，一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門，以利無塵潔凈烤箱的溫度上升，當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門，以利于水分排出。

無塵潔凈烤箱需要使用定時器時，先將定時時間值設定好，再將定時開關擰在“開”的位置即可，如果需要觀察臺車烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風條件的室內，在其周圍不可放置易燃易爆物品。