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真空鍍膜機應在真空過程前對真空材料進行清洗,去除工件或系統材料表面的污染物;車燈鍍膜機零部件表面的清潔也是很有必要的,因為污染物引起的氣體和蒸氣源不僅會使真空系統無法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在,還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。
與傳統的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發
其原理是在真空條件下,用蒸發器加熱蒸發材料使其蒸發或升華,蒸發的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術的基礎上發展起來的,所以具有兩者的工藝特點。在真空條件下,工作氣體或蒸發物質(膜材料)通過氣體放電被部分電離,蒸發物質或其反應物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進行連續鍍膜的技術,以實現柔性基板的某些功能性和裝飾性。
檢查泄漏情況是真空鍍鈦機真空度的一種檢查方法,簡稱檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用,因此檢漏是的。通常情況下,真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統抽氣時,真空室內壓力降低。內外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室,造成真空度降低。