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隨著鍍膜技術的快速增長,各種類型的真空鍍膜設備生產線也開始逐漸出現。但是論起薄膜的均勻性,恐怕所有的真空設備鍍制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響,現在我們就濺控濺射鍍膜機來看看造成不均勻的因素有哪些。
PVD鍍膜涂層工藝中效果好的為離子鍍膜方式;此方法是利用電弧撞擊靶材,使靶材原子被激發出來,與反應性氣體反應,形成化合物沉積于工件表面的一種技術。爐內運行至高真空后,通入惰性氣體,加偏壓造成氬離子(Ar+),及帶負電的電子(e-),帶正電的氬離子會撞向通入偏壓為負極的基板底材,來清潔工件表面;之后再通入反應氣體,在靶材和基板底材間產生電漿,進行鍍膜作業。此一方式成膜速度快、密著性較佳,多用于切削刀具鍍膜涂層處理。
真空鍍膜厚度屬于微米級,1μm 相當于傳統電鍍一條的十分之一,因此經過鍍膜作業以后,并不會影響工件的精度;傳統電鍍的批覆方式是以一種包覆的方式在外形成一層電鍍層,并無高度密著性可言。
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