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聚對二甲苯成膜原理如下：固態環二體原理吸熱升華，形成氣態，在真空泵的抽力作用下，進入裂解爐，在690度左右下，環二體的兩條C-C鏈斷開，形成具有兩個懸空鍵的游離基團，由于電子配對作用的吸引，具有兩個游離基團的單分子聚合，形成線性高分子，聚合度可達5000左右。

聚對二甲苯是一種有機聚合物（其基本形式為聚對二甲苯 N），僅由氫 (H) 和碳 (C) 原子組成。聚對二甲苯是疏水的，并且對幾乎所有化學物質都有耐受性。這也適用于其他聚合物如 PTFE，但是這些非常的特性源自于非凡的生產技術。其中只有作為薄涂層才具有經濟意義。該聚合物是通過氣態單體在冷的基材表面上聚合而形成的。所有液體涂層都包含氣體夾雜物，即使在表面張力較低的情況下也有局部收縮的趨勢。這會導致出現空隙、邊緣變薄和層厚度發生變化的情況。通過對直接來自氣相的聚對二甲苯進行聚合來逐個放置分子，可實現沒有孔、沒有邊緣逸出，以及分子規模的恒定層厚度。聚對二甲苯在冷表面上聚合。由此導致基材上沒有溫度負荷。幾乎所有材料都可以通過聚對二甲苯進行涂覆。

聚對二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對二甲苯)、Parylene C(聚一氯對二)和 Parylene D(聚二氯對二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質、保護性涂料和包封材料等。