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真空鍍膜設備存有著氣密性差的問題,假如鍍膜設備維護保養進行后,能做一次氣密性試驗,就可以規避許多不合格產品的造成,做到節省成本費用的效果。
鍍膜設備應該在高真空下工作,真空值的優劣可以直接危害表層的鍍膜的質量。有時鍍膜設備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發生脫焊。傳統式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關機,充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個過程用時費事極易錯判,針對微小的泄露沒法檢驗。諾益氦質譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環保,檢漏時無需關機,立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進行檢驗了。
蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。