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聚對(duì)二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性,無(wú)微孔無(wú)缺陷,化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。
聚對(duì)二甲苯是一系列具有多晶線性性質(zhì)的有機(jī)聚合涂層材料的類(lèi)署名,具有很好的單位厚度絕緣性,并具有化學(xué)惰性。聚對(duì)二甲苯的種類(lèi)很多,全都無(wú)需填充劑、穩(wěn)定劑、催化劑和塑化劑。
因此,這些材料不會(huì)出現(xiàn)津析、排氣或萃取問(wèn)題,由于聚對(duì)二甲苯能氣相沉積,它可涂覆于極細(xì)微的空間和空隙,由于其分子級(jí)聚合作用,即一次一個(gè)分子附著于沉積表面,聚對(duì)二甲苯涂層超薄,不會(huì)形成氣孔,并能敷形涂覆在元件上。聚對(duì)二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求,任何用來(lái)保護(hù)微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對(duì)二甲苯不會(huì)顯著增加質(zhì)量,這對(duì)微型植入裝置來(lái)說(shuō)是非常重要的優(yōu)勢(shì)。
聚對(duì)二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對(duì)二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱(chēng),它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜
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