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鍍膜設備應該在高真空下工作,真空值的優劣可以直接危害表層的鍍膜的質量。有時鍍膜設備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發生脫焊。傳統式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關機,充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個過程用時費事極易錯判,針對微小的泄露沒法檢驗。諾益氦質譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環保,檢漏時無需關機,立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進行檢驗了。
對比幾個真空鍍膜機的檢漏方法:
氦質譜檢漏該工藝是真空鍍膜機真空檢漏技術里不可缺少的一種技術,因為檢漏率,簡單易使用,儀器設備反映靈敏,,不容易受別的氣體的影響,在檢漏中獲得了廣泛運用。氦質譜檢漏儀是依據質譜學基本原理,用氮氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規構成的質譜分析室和吸氣系統及電氣一部分等構成。質譜分析室里的鎢絲發送出去的電子,在房間內不停地震蕩,并與房間內空氣和經漏孔進入到屋內的氦氣互相撞擊使其水解成共價鍵,這種氦離子在加快靜電場的作用下進入到磁場,因為洛倫茲力作用產生偏轉,產生圓弧狀軌道,更改加速電壓可使不一樣品質的離子通過磁場和接受縫抵達接收極而被檢驗。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在檢漏中經常使用的這兩種方式。采用真空法檢漏,鍍膜機不需要停機,直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀,在懷疑有漏的地方噴氦氣,即可完成檢漏。
蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。
真空鍍膜機為什么會越來越慢這種情況有兩種可能
1、設備內部由于長時間鍍膜導致有些臟東西在加熱時放氣,所以這種情況需要維護,即把內部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒有發現,尤其是各個傳動部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計的變化檢查,但一般漏的不大時不好判斷,至于你說的真空1.9的那個其實也并不高,還有就是漏率是按照你的設備體積以及單位時間的真空下降程度來算的不是按照真空值計算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數值。
如何處理真空鍍膜的灰塵呢
1、設備使用的源材料要符合必要的純度要求。
2、設備樣品取出后要注意放置環境的清潔問題。
3、真空鍍膜一段時間后,真空室內壁要清潔處理。
4、真空鍍膜清洗襯底材料,要做到嚴格合乎工藝要求。
5、真空鍍膜適當的增加環境的濕度,有利于降低周圍環境的懸浮固體顆粒物。
6、工作人員在操作時需要戴手套、腳套等,要有的服裝。
由于灰塵對鍍膜效果會產生比較大的影響,因此為了避免在真空鍍膜設備中留下灰塵,應該在使用中注意以上幾點來盡量避免,除此也要注意經常清洗,避免灰塵越積越多。
真空鍍膜工藝在信息存儲范疇中的運用薄膜資料作為信息記載于存儲介質,有其得天厚的優勢:因為薄膜很薄能夠疏忽渦流損耗;磁化回轉極為敏捷;與膜面平行的雙穩態狀況簡單保持等。為了更精細地記載與存儲信息,必定要選用鍍膜技能。
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