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磁控濺射靶材:鋯靶,鉿靶
磁控濺射靶材種類:
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材,氮化物陶瓷濺射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材,硅化物陶瓷濺射靶材,硫化物陶瓷濺射靶材,碲化物陶瓷濺射靶材,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),化鉛靶材(PbAs),化銦靶材(InAs)。 [2]
磁控濺射原理:
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還可進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,如今,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
名 稱:鋯管
規 格:Φ8.0—89.0(外直徑)╳ 1.0—10.0(壁厚)╳ L(長)mm
狀 態:退火
主要性能: 抗拉強度HB>379Mpa 導熱率=0.040Cal/cm2 (可以彎成需要的形狀)
應用領域:油箱盤管、殼管熱交換器、熱虹吸管、蒸發器、卡口加熱器和人造絲絲囊、管殼式換熱器,列管式換熱器,加熱管,管式預熱器、化工設備反應釜盤管等。
例如:在蒸氣壓力為239000Pa,溫度為373K,管中流體含5%硫酸、3%、6%硫酸鈉的條件下,用鋯盤管代替鉛盤等,使用壽命在10年以上。
可根據用戶需要制作。
鋯盤管換熱器:
規格;標準規格,功率有1.5KW-50KW,
形態;根據加熱功率,可制成“L”型,“U” “0"型等,并可附有過熱保護裝置。
用途;適用于鈦無法勝任的酸、堿介質中(氫氟酸除外)。
在聚合物的生產中,鋯的應用是代替石墨作熱交換器。鋯熱交換器的成本雖比石墨約高4倍,比鈦約高 2倍,但它經久耐用足以彌補成本費。
我們曾在多種農藥設備上進行過工業鋯的應用研究,如在農藥反應罐中進行了鋯的實際應用與掛片試驗。農藥水解反應的條件為:20%硫酸+甲萘胺;溫度220-250℃;15個大氣壓(1520kPa),一個流程時間為7h,在此條件下設備腐蝕嚴重,1mm厚普通鋼板,反應后即腐蝕穿孔。原采用罐內搪12- 14mm厚的鉛層為防腐層,則易污染環境,鉛的抗腐蝕也較差,一個搪鉛反應罐,僅能使用50-60批料即穿孔漏液。鋯掛片試驗條件為:生產介質20%硫酸+甲萘胺;生產200-250℃;壓力14-15個大氣(1419- 1520kPa)。結果表明,隨時間增加,鋯母材與焊縫區氧含量稍有增加,但增加速度較緩,對鋯的力學性能未引起惡化。而氫含量卻在這種介質腐蝕中逐漸下降,可減少脆性,對鋯有利,年腐蝕率僅為 0.024-0.04mm/a。
鋯的表面易形成一層氧化膜,具有光澤,故外觀與鋼相似。有耐腐蝕性,但是溶于氫氟酸和王水;高溫時,可與非金屬元素和許多金屬元素反應,生成固體溶液化合物。鋯 鋯單質
的可塑性好,易于加工成板、絲等。鋯在加熱時能大量地吸收氧、氫、氮等氣體,可用作儲氫材料。鋯的耐蝕性比鈦好,接近鈮、鉭。鋯與鉿是化學性質相似、又共生在一起的兩個金屬,且含有物質。地殼中鋯的含量居第19位,幾乎與鉻相等。自然界中具有工業價值的含鋯礦物,主要有鋯英石及斜鋯石。
鋯是一種稀有金屬,具有驚人的抗腐蝕性能、的熔點、的硬度和強度等特性,被廣泛用在航空航天、、核反應、原子能領域。本次"神六"上使用的抗腐蝕性、耐高的鈦產品,其抗腐蝕性能遠不如鋯,其熔點1600度左右,而鋯的熔點則在1800度以上,二氧化鋯的熔點更是高達2700度以上,所以鋯作為航空航天材料,其各方面的性能大大于鈦。
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