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伺服電機與普通電機大的區別在于電機轉子和反饋裝置。伺服電機轉子表面貼有強力磁鋼片，因此可以通過定子線圈產生的磁場控制轉子的位置，并且加減速特性遠普通電機。反饋裝置可以反饋電機轉子位置到伺服驅動器，伺服電機常用的反饋裝置有光學編碼器、旋轉變壓器等。
伺服電機和步進電機的性能比較，步進電機作為一種開環控制的系統，和現代數字控制技術有著本質的聯系。步進電機和伺服電機兩者在控制方式上相似(脈沖串和方向信號)，但在使用性能和應用場合上存在著較大的差異。
兩相混合式步進電機步距角一般為 1.8°、0.9°，五相混合式步進電機步距角一般為0.72 °、0.36°。也有一些的步進電機通過細分后步距角更小。如山洋公司(SANYO DENKI)生產的二相混合式步進電機其步距角可通過撥碼開關設置為1.8°、0.9°、0.72°、0.36°、0.18°、0.09°、0.072°、0.036°，兼容了兩相和五相混合式步進電機的步距角。
交流伺服電機的控制精度由電機軸后端的旋轉編碼器。以全數字式交流伺服電機為例，對于帶標準2000線編碼器的電機而言，由于驅動器內部采用了四倍頻技術，其脈沖當量為360°/8000=0.045°。對于帶17位編碼器的電機而言，驅動器每接收131072個脈沖電機轉一圈，即其脈沖當量為360°/131072=0.0027466°，是步距角為1.8°的步進電機的脈沖當量的1/655。
