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鍍膜設備應該在高真空下工作,真空值的優劣可以直接危害表層的鍍膜的質量。有時鍍膜設備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發生脫焊。傳統式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關機,充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個過程用時費事極易錯判,針對微小的泄露沒法檢驗。諾益氦質譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環保,檢漏時無需關機,立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進行檢驗了。
對比幾個真空鍍膜機的檢漏方法:
氦質譜檢漏該工藝是真空鍍膜機真空檢漏技術里不可缺少的一種技術,因為檢漏率,簡單易使用,儀器設備反映靈敏,,不容易受別的氣體的影響,在檢漏中獲得了廣泛運用。氦質譜檢漏儀是依據質譜學基本原理,用氮氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規構成的質譜分析室和吸氣系統及電氣一部分等構成。質譜分析室里的鎢絲發送出去的電子,在房間內不停地震蕩,并與房間內空氣和經漏孔進入到屋內的氦氣互相撞擊使其水解成共價鍵,這種氦離子在加快靜電場的作用下進入到磁場,因為洛倫茲力作用產生偏轉,產生圓弧狀軌道,更改加速電壓可使不一樣品質的離子通過磁場和接受縫抵達接收極而被檢驗。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在檢漏中經常使用的這兩種方式。采用真空法檢漏,鍍膜機不需要停機,直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀,在懷疑有漏的地方噴氦氣,即可完成檢漏。
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蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。
真空鍍膜機工作的環境要求:
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。
這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會更加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
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