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制備聚對二甲苯膜的方法有多種：涂層法、真空氣相沉積法、等離子增強化學氣相沉積法、化學氣相冷凝法。涂層法是單體溶解在中，配成一定比例的溶液，通過浸涂、噴涂或旋涂等方法制備薄膜，采用催化劑或升溫的方法聚合成聚對二甲苯膜。

聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質，可以生成數(shù)百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學性質不活潑等優(yōu)良特性。

聚對二甲苯是一系列具有多晶線性性質的有機聚合涂層材料的類署名，具有很好的單位厚度絕緣性，并具有化學惰性。聚對二甲苯的種類很多，全都無需填充劑、穩(wěn)定劑、催化劑和塑化劑。
因此，這些材料不會出現(xiàn)津析、排氣或萃取問題，由于聚對二甲苯能氣相沉積，它可涂覆于極細微的空間和空隙，由于其分子級聚合作用，即一次一個分子附著于沉積表面，聚對二甲苯涂層超薄，不會形成氣孔，并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿足微小尺寸和極輕重量的裝置要求，任何用來保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會顯著增加質量，這對微型植入裝置來說是非常重要的優(yōu)勢。