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聚對(duì)二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里綸(Parylene),是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱(chēng),它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性
聚對(duì)二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對(duì)二甲苯)、Parylene C(聚一氯對(duì)二)和 Parylene D(聚二氯對(duì)二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備,可制成極薄的薄膜,主要用作薄膜和涂層,用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。
聚對(duì)二甲苯是一系列具有多晶線(xiàn)性性質(zhì)的有機(jī)聚合涂層材料的類(lèi)署名,具有很好的單位厚度絕緣性,并具有化學(xué)惰性。聚對(duì)二甲苯的種類(lèi)很多,全都無(wú)需填充劑、穩(wěn)定劑、催化劑和塑化劑。
因此,這些材料不會(huì)出現(xiàn)津析、排氣或萃取問(wèn)題,由于聚對(duì)二甲苯能氣相沉積,它可涂覆于極細(xì)微的空間和空隙,由于其分子級(jí)聚合作用,即一次一個(gè)分子附著于沉積表面,聚對(duì)二甲苯涂層超薄,不會(huì)形成氣孔,并能敷形涂覆在元件上。聚對(duì)二甲苯還能滿(mǎn)足微小尺寸和極輕重量的裝置要求,任何用來(lái)保護(hù)微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對(duì)二甲苯不會(huì)顯著增加質(zhì)量,這對(duì)微型植入裝置來(lái)說(shuō)是非常重要的優(yōu)勢(shì)。
制備聚對(duì)二甲苯膜的方法有多種:涂層法、真空氣相沉積法、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法、化學(xué)氣相冷凝法。涂層法是單體溶解在中,配成一定比例的溶液,通過(guò)浸涂、噴涂或旋涂等方法制備薄膜,采用催化劑或升溫的方法聚合成聚對(duì)二甲苯膜。
聚對(duì)二甲苯成膜原理如下:固態(tài)環(huán)二體原理吸熱升華,形成氣態(tài),在真空泵的抽力作用下,進(jìn)入裂解爐,在690度左右下,環(huán)二體的兩條C-C鏈斷開(kāi),形成具有兩個(gè)懸空鍵的游離基團(tuán),由于電子配對(duì)作用的吸引,具有兩個(gè)游離基團(tuán)的單分子聚合,形成線(xiàn)性高分子,聚合度可達(dá)5000左右。
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