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蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。?

對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且終沉積在基片表面，經歷成膜過程，終形成薄膜。

在光學薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經相當好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內，也就是說對于薄膜的光學特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。?

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

3. 開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數到達250以后，關予抽，開前機和
高閥繼續抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。 1. 總電源。
2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。
3. 開高壓，高壓會達到10KV以上，調節束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉電流在1~1.7之間擺動。 1. 關高真空表頭、關分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時，依次關高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。

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離子鍍膜，一個精密的工藝過程，其核心是離子濺射鍍膜。對于導電靶，偏壓電源扮演了關鍵角色，采用直流電場的精密調控，確保陰極表面的電子被加速，進而轟擊氣體分子，引發電離現象。這個過程中，電子被電場驅動，形成雪崩效應，直至氣體被擊穿，形成穩定的電離電流，進而驅動離子加速，撞擊靶材，將原子釋放并沉積在樣品表面，形成所需涂層。

偏壓電源，就像熒光燈中的核心組件，它通過高頻轉換電路，以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細調整通過改變高頻轉換電路的輸入電壓實現，穩壓性能高達1%。這種設計允許在工藝所需電壓的同時，通過調整脈沖寬度來控制工件的加熱效果，適用于各種涂層需求，從工具保護到裝飾美化。

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抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏，應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，查找真空泵及閥門看哪里出現泄漏，或是擴散泵油污染或氧化；或前級管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化，軸封漏油等。漏--分內漏和外漏，較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發現火苗向漏點偏移，則可找到漏點。查找小漏和微漏：利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了--也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。好是反復幾次，確認漏點。內漏多發生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發現疑點，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內漏。

真空蒸發鍍膜設備主要用于在經予處理的塑料、陶瓷等制品表面蒸鍍金屬薄膜（鍍鋁、鉻、錫、不銹鋼等金屬）、七彩膜仿金膜等,從而獲得光亮、美觀、的塑料,陶瓷表面金屬化制品。廣泛應用于工藝美術、裝璜裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、女式鞋后跟等領域,
JTPZ多功能鍍膜技術及設備（加有射頻等離子體聚合的蒸發鍍膜機），針對汽車、摩托車燈具而設計的，在一個真空室內完成蒸發鍍鋁和射頻等離子體鍍保護膜，這種鍍膜后燈具具有“三防”功能。射頻等離子體聚合膜還應用于光學產品、磁記錄介質、軍事保護膜；防潮增透膜；防銹抗腐蝕；耐磨增硬膜。

真空鍍膜加工中冷卻設備需要提供智能、穩定的冷凍水，來確保真空鍍膜工藝中電鍍液的溫度恒定，所以會選擇使用水冷式冷水機來作為真空鍍膜加工冷卻設備。

一 真空鍍膜加工中冷卻設備冷水機的作用

真空鍍膜加工過程中，真空鍍膜機作為主要設備，工作過程中有高頻電流過程，電導會在反復過程中產生大量熱能并且集聚在一起，需要冷卻設備及時地進行冷卻，避免設備部件損壞，影響使用壽命；另外，真空鍍膜電鍍液需要根據電鍍產品不同進行溫度調節，并保持相對恒溫，反復鍍膜會造成鍍液溫度升高，同樣需要冷卻設備來準確地控制和穩定電鍍液的溫度。在工業生產控溫中，根據真空鍍膜加工的實際需求，選用相應規格的冷水機設備來進行、穩定的溫度控制調節是經濟有效的解決方案。