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真空鍍膜設(shè)備存有著氣密性差的問題,假如鍍膜設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)進(jìn)行后,能做一次氣密性試驗(yàn),就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成,做到節(jié)省成本費(fèi)用的效果。
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真空鍍膜機(jī)的工作原理如下:
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。因此,當(dāng)評價(jià)某薄膜樣品的性能時(shí),需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問題:,不同次生長的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實(shí)驗(yàn)裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得,非常耗時(shí)。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。
因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
真空鍍膜工藝在傳感器方面的運(yùn)用在傳感器中,多選用那些電氣性質(zhì)相關(guān)于物理量、化學(xué)量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體資料。此外,其中大多數(shù)運(yùn)用的是半導(dǎo)體的外表、界面的性質(zhì),需求盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低報(bào)價(jià)制造、因而選用薄膜的狀況許多。
真空鍍膜機(jī)工藝在光學(xué)儀器中的運(yùn)用大家了解的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀,以及平時(shí)生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技能,鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。
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