關(guān)鍵詞 |
義烏氧化鋯珠回收,益陽氧化鋯珠回收,汾陽氧化鋯珠回收,東臺氧化鋯珠回收 |
面向地區(qū) |
全國 |
穩(wěn)定性氧化鋯
外 觀: 白色粉末
性 質(zhì): 、無味,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,熱導(dǎo)率低,耐熱沖擊性好。
用 途: 適用于制造各類機械部件、切削工具、、結(jié)構(gòu)陶瓷、電子陶瓷、生物陶瓷、耐火材料、光通訊器件、氧傳感器、固體氧燃料電池等。
金屬鋯、高純鋯、海綿鋯,碘化鋯、結(jié)晶鋯、鋯錠、鋯籃、鋯靶、鋯屑、鋯邊角、鋯棒、鋯板、鋯管、鋯鋼反應(yīng)釜罐,鋯盤管,鋯冷卻管,鋯絲、鋯箔、鋯帶、鋯舟、鋯杯、鋯螺絲、鋯包銅,鋯鐵,鋁鋯中間合金等。
3)結(jié)晶鉿,高純鉿,海綿鉿,鉿絲、鉿靶、鉿棒、鉿下角料、鉿錠、鉿屑等。4)金屬鉭,鉭板,鉭絲,鉭棒,鉭靶等。
5)金屬鈮,鈮錠,鈮板,鈮棒,鈮板,鈮粉等。
各種類型的濺射薄膜材料,鉿靶,鋯靶在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀90年代以來,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導(dǎo)體集成電路制造過程中,以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產(chǎn)業(yè)中,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。
市場概況
日本。就美國而言.約有50家中小規(guī)模的靶材制造商及經(jīng)銷商,其中大的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者,以便提供更完善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設(shè)立分公司。近段時間,的一些國家和地區(qū),如臺灣.韓國和新加坡,就建立了越來越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠,如IC、液晶顯示器及光碟制造廠。
對靶材廠商而言,這是相當(dāng)重要的新興市場。中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增,不斷的擴大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù),國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的已經(jīng)達到國外的技術(shù)水平。2010年,日本三菱公司就在中國臺灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地,可以滿足臺灣50%的靶材需要。
合金靶材
鐵鈷靶FeCo、鋁硅靶AlSi、鈦硅靶TiSi、鉻硅靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦硅靶TiSi、鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等。 [1]
鋯靶,鉿靶,鋯管靶,鋯板靶,鈦板靶,鈦板
金屬鋯靶材,金屬鉿靶,金屬鈦靶材
鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。
磁控濺射靶材:鋯靶,鉿靶
磁控濺射靶材種類:
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材,氮化物陶瓷濺射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材,硅化物陶瓷濺射靶材,硫化物陶瓷濺射靶材,碲化物陶瓷濺射靶材,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),化鉛靶材(PbAs),化銦靶材(InAs)。 [2]
磁控濺射原理:
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設(shè)備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導(dǎo)電材料外,也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時還可進行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,如今,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
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