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磁控濺射靶材:鋯靶,鉿靶
磁控濺射靶材種類:
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材,氮化物陶瓷濺射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材,硅化物陶瓷濺射靶材,硫化物陶瓷濺射靶材,碲化物陶瓷濺射靶材,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),化鉛靶材(PbAs),化銦靶材(InAs)。 [2]
磁控濺射原理:
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還可進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,如今,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
我們曾在多種農藥設備上進行過工業鋯的應用研究,如在農藥反應罐中進行了鋯的實際應用與掛片試驗。農藥水解反應的條件為:20%硫酸+甲萘胺;溫度220-250℃;15個大氣壓(1520kPa),一個流程時間為7h,在此條件下設備腐蝕嚴重,1mm厚普通鋼板,反應后即腐蝕穿孔。原采用罐內搪12- 14mm厚的鉛層為防腐層,則易污染環境,鉛的抗腐蝕也較差,一個搪鉛反應罐,僅能使用50-60批料即穿孔漏液。鋯掛片試驗條件為:生產介質20%硫酸+甲萘胺;生產200-250℃;壓力14-15個大氣(1419- 1520kPa)。結果表明,隨時間增加,鋯母材與焊縫區氧含量稍有增加,但增加速度較緩,對鋯的力學性能未引起惡化。而氫含量卻在這種介質腐蝕中逐漸下降,可減少脆性,對鋯有利,年腐蝕率僅為 0.024-0.04mm/a。
化工反應釜的工作方式:
一般與瑭玻璃鋼反應釜配合,作蒸汽加熱或水冷卻之用。管內大壓力根據臂厚不同可承受壓力6~20㎏,換熱面積按設計要求制作。
1、耐用程度遠比(搪玻璃反應釜)高出3-5倍(一但搪玻璃釜內膽磕碰,掉釉,壽命只有4-12個月)
2、加熱或冷卻效率比(搪玻璃反應釜)在單位容器,單位時間快6個小時,也就是說如果改用鋯盤管換熱,兩臺釜可以出來三臺的產量。
3、我公司有豐富的改裝,維護,施工經驗。
如果有對此產品有興趣的朋友可以給我電話,一起探討,用鋯材的換熱器價格肯定比搪玻璃的貴,比方一套6300L的釜,使用R60702鋯材盤管換熱器價格大概15W,但是經過我公司改裝過的和新上這種設備的客戶在使用后,對本產品都是肯定的,貴的值得,貴的有道理,不論是在經濟上(假以時日鋯換熱器還是比搪玻璃經濟),還是在生產(產量),維護上(零維護),比使用搪玻璃換熱的要好的多
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