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主要產品 七大類:電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理(或熔煉)機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三. 電阻爐:三大部件:加熱器、爐襯、耐構件 1. 分為周期式及連續式兩大類 2. 周期式爐的特征: A. 爐料同時加入同時取出 B. 加熱時爐料基本不動(特殊情況除外:如滾筒爐,輥底爐) C. 工作區內力求溫度均勻3. 周期式電阻爐的分類 A. 箱式爐 B. 臺車爐(分為自行式和牽引式),用作退火之用,加熱后工件隨爐冷卻 C. 井式爐 藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,使肩部近似直角;然后,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成,進行一定的保溫冷卻后可以取出。

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工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當外部化料器7中的硅料加完后,再關閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續加料,如此循環,進而完成外部加料、化料,本發明可實現連續拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產效率;本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動,