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提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成、副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成、 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔、下?tīng)t筒：包括抽真空管道、底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座? 坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成、分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等、管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過(guò)濾器 真空管道 硬波紋管’電源以及電控柜：電源柜 濾波柜、控制柜、以及連接線等等、

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結(jié)束語(yǔ)/在工業(yè)中使用除塵器收集灰塵已經(jīng)有了上的歷史，但是，到目前為止，還沒(méi)有一種不論在什么條件下都能夠圓滿解決問(wèn)題的除塵器。因此，要根據(jù)不同的具體情況選擇設(shè)計(jì)適用的除塵設(shè)備。對(duì)塵埃問(wèn)題，世界各真空設(shè)備都有各種性能要求和規(guī)格的除塵器、過(guò)濾器供用戶選擇。國(guó)內(nèi)還沒(méi)有生產(chǎn)性能規(guī)格的除塵器、過(guò)濾器的工廠，大都由用戶自行設(shè)計(jì)加工。設(shè)計(jì)人員掌握除塵技術(shù)的基本知識(shí)，考慮許多技術(shù)經(jīng)濟(jì)因素才能滿足實(shí)際應(yīng)用的要求。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，生長(zhǎng)Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場(chǎng)研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對(duì)流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問(wèn)題,本文在國(guó)產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對(duì)熱場(chǎng)進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問(wèn)題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過(guò)程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。