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Edwards愛德華EPX180L干式真空泵維修
Edwards愛德華EPX系列干泵真空泵維修
新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
應(yīng)用:
EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。
功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進行診斷監(jiān)視和控制。
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