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單晶硅生長爐的特點(diǎn)HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計(jì)。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動(dòng)，便于裝料和維護(hù)等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計(jì)，提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺(tái)的上面，便于平臺(tái)下面設(shè)備的維護(hù)。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù)，簡便干凈。全自動(dòng)控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時(shí)采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選，保控溫精度。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動(dòng)蝶閥實(shí)時(shí)控制爐內(nèi)真空度。

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由于慣性離心力的作用，塵粒和氣流會(huì)產(chǎn)生相對運(yùn)動(dòng)，使塵粒從氣流中分離、慣性碰撞和接觸阻留含塵氣流在運(yùn)動(dòng)過程中遇到物體的阻擋(如擋板、纖維、水滴等) 時(shí)，氣流要改變方向進(jìn)行繞流，細(xì)小的塵粒會(huì)隨氣流一起流動(dòng)。粗大的塵粒具有較大的慣性,它會(huì)脫離流線，保持自身的慣性運(yùn)動(dòng)，這樣塵粒和物體發(fā)生了慣性碰撞而脫離氣流(見圖1)。細(xì)小的塵粒隨氣流一起繞流時(shí)，如果流線緊靠物體(纖維或液滴) 表面，有些塵粒因與物體發(fā)生接觸而被阻留,這種現(xiàn)象稱為接觸阻留。另外當(dāng)塵粒尺寸大于纖維網(wǎng)眼而被阻留時(shí)，這種現(xiàn)象稱為篩濾作用。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí)，可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并方便外部化料器的移動(dòng)、拆解和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和化料器旋臂，所述底座上設(shè)置有立柱，所述化料器旋臂鉸接在立柱上，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置連接在化料器旋臂上，所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置上，以便在不繼續(xù)加料時(shí)，通過化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置；和化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步提供了一種化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿、絲杠、電機(jī)和連接塊，所述支撐桿連接在化料器旋臂上，所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上，所述電機(jī)連接在絲杠上，所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上，所述外部化料器連接在連接塊上，以便通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲杠旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運(yùn)動(dòng)，并通過所述連接塊帶動(dòng)外部化料器升降。