銥粉回收在質(zhì)子治療設(shè)備中的回收
癌癥治療用銥準(zhǔn)直器的再生標(biāo)準(zhǔn):
去污要求:
表面污染<0.4Bq/cm2(α)、<4Bq/cm2(β)。
尺寸修復(fù):
激光熔覆修復(fù)磨損部位(精度±5μm)。
認(rèn)證流程:
符合IEC 60601-2-1醫(yī)療電子設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)。
經(jīng)濟價值:單套準(zhǔn)直器再生可節(jié)省采購成本25萬美元。
銥粉回收, 銥粉在半導(dǎo)體封裝中的回收技術(shù)
半導(dǎo)體封裝用銥濺射靶材(純度>99.995%)的回收工藝:
廢料特征:
靶材殘體含Ir 85-92%,摻雜Al?O?或SiO?散熱層。
分離技術(shù):
高壓水射流(350MPa)剝離陶瓷層(效率>99%)。
真空感應(yīng)熔煉(1600℃)去除氧化物夾雜。
再生標(biāo)準(zhǔn):
參數(shù) SEMI F47標(biāo)準(zhǔn) 再生靶材
電阻率(μΩ·cm) ≤5.3 5.1
晶粒尺寸(μm) 10-50 35
市場影響:臺積電采用該技術(shù)后,靶材采購成本下降28%。
銥粉回收的微生物冶金回收突破
極端嗜酸菌(Acidianus brierleyi)浸出低品位銥礦(0.3% Ir):
培養(yǎng)條件:
pH=1.5,70℃,通氣量0.5L/min。
作用機理:
菌體分泌胞外聚合物(EPS)絡(luò)合Ir3?。
工藝指標(biāo):
階段 時間(h) 銥浸出率(%)
生物氧化 120 82
化學(xué)強化 24 95
環(huán)保優(yōu)勢:較傳統(tǒng)氰化法減少廢水排放90%。
12年