產品特點：

立自主知識產權的直線型單臂機械手，具有高可靠性、高穩定性。

設備配有FFU，采用全封閉結構，可發揮超潔凈性能，其潔凈度達Class1。

可實現對晶圓缺口的檢測并依據缺口位置對晶圓進行定位。

配備CCD傳感器及圖像處理軟件，可對晶圓ID刻號進行識別與讀取；

可依據客戶需求，非標定制。

現階段，硬脆材料切割技術主要有外圓切割、內圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡單，但據片剛性差，切割全過程中鋸片易方向跑偏.造成被切割工們的平面度差；而內圓切割只有進行直線切割，沒法進行斜面切割。線鋸切割技術具備割縫窄、率、切成片、可進行曲線圖切別等優點成為口前普遍選用的切割技術。

在過去三十年期間，切片(dicing)系統與刀片(blade)已經不斷地改進以對付工藝的挑戰和接納不同類型基板的要求。新的、對生產率造成大影響的設備進展包括：采用兩個切割(two cuts)同時進行的、將超程(overtravel)減到小的雙軸(dual-spindle)切片系統。

為了接收今天新的切片挑戰，切片系統與刀片之間的協作是必要的。對于(high-end)應用特別如此。刀片在工藝優化中起主要的作用。為了接納所有來自于迅速的技術發展的新的切片要求，今天可以買到各種各樣的刀片。這使得為正確的工藝選擇正確的刀片成為一個比以前更加復雜的任務。

除了尺寸，三個關鍵參數決定刀片特性：金剛石(磨料)尺寸、金剛石含量和粘結劑的類型。結合物是各種金屬和/或其中分布有金剛石磨料的基體。這些元素的結合效果決定刀片的壽命和切削質量(TSC與BSC)。改變任何一個這些參數都將直接影響刀片特性與性能。為一個給定的切片工藝選擇佳的刀片可能要求在刀片壽命與切削質量之間作出平衡。

當切片機有穩定的冷卻劑流量和所有其它參數都受控制時，維持一個穩定的扭矩。如果記錄，從穩定扭矩的任何偏離都是由于不受控的因素。這些包括由于噴嘴堵塞的冷卻劑流量變化、噴嘴調整的變化、刀片對刀片的變化、刀片情況和操作員錯誤。